Семинар планируется на период со 2 по 4 февраля 2026 г. в Институте неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН (г. Новосибирск). Семинар проводится в рамках Кузнецовских чтений, которые ИНХ СО РАН организует с 2015 года.
В программу семинара включены следующие темы:
1. Фундаментальные основы процессов CVD (химия газовой фазы и поверхности, механизмы реакций, кинетика, моделирование, взаимосвязь структуры и свойств).
2. Новые исходные вещества для процессов CVD: синтез, очистка и характеризация.
3. Новые направления в развитии технологии газофазных процессов (активированные процессы CVD, ALD, гибридные технологии, процессы селективного осаждения и др.).
4. Новые материалы, сложные структуры, гибридные и многофункциональные системы, полученные в процессах CVD (однородные и градиентные пленки, напряженные слои, структуры различной архитектуры: нанотрубы, нанонити, нанокомпозиты, наночастицы, квантовые точки и т.д.).
5. Диагностика пленок и покрытий, контроль процессов CVD (контроль процессов превращения компонентов газовой фазы, состояние образующихся фаз, функциональные характеристики слоев и структур, стабильность пленок).
6. CVD: путь от лаборатории к промышленной технологии.
7. Тонкие пленки и наноструктуры, полученные методом PVD: рост, характеризация, моделирование.
8. Применение процессов CVD, ALD и PVD (микро, нано- и оптоэлектроника, химические сенсоры, катализ, производство энергии, оптические и защитные покрытия и др.).
Для участия в работе семинара необходимо зарегистрироваться по инструкции на сайте http://niic.nsc.ru/science/conferences-inx/1070-conferences-2026/5095-cvd-2026
